产品特征
直线度可达10um
X轴最大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止杂讯干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统解析最低可达50nm
直线度可达10um
X轴最大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止杂讯干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统解析最低可达50nm
产品应用
半导体设备、自动化搬送、FPD设备、太阳能制造设备、PCB设备、水刀设备、钻石切割产业、AOI检测设备、工具机
半导体设备、自动化搬送、FPD设备、太阳能制造设备、PCB设备、水刀设备、钻石切割产业、AOI检测设备、工具机